北京商报讯（记者 马换换 王蔓蕾）7月6日，上交所官网显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”）科创板IPO进入问询阶段。
据了解，恒运昌主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，公司IPO于2025年6月13日获得上交所受理。
本次冲击上市，恒运昌拟募集资金约15.5亿元，扣除发行费用后，净额拟全部用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目、补充流动资金。
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